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如何在納米尺度雕刻芯片?

Vol.137 如何在納米尺度雕刻芯片?

在加工 5 納米制程芯片時,允許的缺陷相當於在北京五環內,最多只能有兩個芝麻大小的多余顆粒。芯片制造要想做到如此嚴苛的精度控制到底有多難?

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