科技工程

芯片制造到底難在那裡?帶你了解真正的EUV光刻技術

芯片制造到底難在那裡?帶你了解真正的EUV光刻技術

談到芯片制造到底難在那裡,光刻機和光刻膠的技術,應該說是繞不開的一個話題。這期節目我們就來聊聊光刻機的光源、反射膜、光刻膠等一系列技術要點。談談中國要如何突破光刻技術,EUV的必要性和技術選擇。

Chapters章節 :
00:00 Intro簡介
01:12 EUV光刻機的歷史
04:33 EUV光刻機的難點在那裡?
07:16 EUV多層膜反射鏡技術
08:51 EUV光刻機的系統集成
10:29 EUV光刻機的缺點
11:50 光刻膠的難點在哪裡?
13:23 End總結

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